產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品定位
接觸角儀 SL200L是一款專(zhuān)為液晶、晶圓、半導(dǎo)體、硅片及光刻膠等精密材料表面清潔度與潤(rùn)濕性分析設(shè)計(jì)的設(shè)備。基于大移動(dòng)平臺(tái)與模塊化設(shè)計(jì)理念，該設(shè)備支持自動(dòng)進(jìn)液、動(dòng)態(tài)接觸角及界面張力測(cè)試，為工業(yè)質(zhì)檢與研發(fā)提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支持。

接觸角儀核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1. 大移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)：

   • 適配大尺寸樣品（如PCB板、IPAD顯示屏、觸摸屏）的清潔度與接觸角測(cè)量。

   • 支持液晶、晶圓、半導(dǎo)體等精密材料的表面潤(rùn)濕性評(píng)估。

2. 高精度光學(xué)系統(tǒng)：

   • 工業(yè)級(jí)輪廓鏡頭：成像清晰，確保液滴輪廓精準(zhǔn)識(shí)別。

   • 石英玻璃柔光光源：均勻背景照明，提升圖像對(duì)比度。

3. 智能化軟件系統(tǒng)（CAST™3.0）：

   • 動(dòng)態(tài)接觸角分析：支持前進(jìn)/后退角、滾動(dòng)角及時(shí)間依賴(lài)性接觸角測(cè)量。

   • 表面自由能計(jì)算：分析色散力、極性力、氫鍵力等分量，評(píng)估材料表面特性。

   • 液-氣/液-液界面張力測(cè)試：基于懸滴法（Pendant Drop）實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)測(cè)量。

4. 自動(dòng)進(jìn)液系統(tǒng)：

   • 高精度液滴控制，適配微量樣品測(cè)試，減少試劑消耗。

行業(yè)痛點(diǎn)解決方案

• 表面清潔度檢測(cè)：通過(guò)接觸角與界面張力測(cè)試，快速評(píng)估液晶、晶圓、半導(dǎo)體等材料的表面污染物殘留。

• 光刻膠潤(rùn)濕性分析：優(yōu)化光刻工藝中的涂布均勻性與附著力，提升制造良率。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 液晶顯示：評(píng)估屏幕表面清潔度與涂層潤(rùn)濕性。

• 半導(dǎo)體制造：晶圓、硅片表面污染物檢測(cè)與潤(rùn)濕性分析。

• 光刻膠研發(fā)：優(yōu)化光刻膠涂布性能，提升工藝穩(wěn)定性。

• 觸摸屏質(zhì)檢：表面清潔度與涂層附著力評(píng)估。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

• 高精度控制：微米級(jí)定位精度，減少機(jī)械振動(dòng)干擾。

• 模塊化設(shè)計(jì)：支持功能擴(kuò)展，適配多樣化測(cè)試需求。

• 操作友好性：向?qū)杰浖缑娼Y(jié)合一鍵操作功能，降低使用門(mén)檻。

接觸角定義

在固體水平平面上滴上一滴小液滴，在固體表面的固-液-氣三相交界點(diǎn)處，由氣-液界面和固-液界面兩切線(xiàn)將液相夾在其中時(shí)所形成的角度，稱(chēng)為接觸角。

SL200L系列接觸角測(cè)定儀產(chǎn)品特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

行業(yè)痛點(diǎn)解決方案

1. 頂視3D接觸角功能：

   • 用于評(píng)估液晶、晶圓、半導(dǎo)體等高精密材料表面結(jié)構(gòu)與化學(xué)多樣性對(duì)潤(rùn)濕性的影響，解決傳統(tǒng)方法無(wú)法精準(zhǔn)分析微觀(guān)粗糙表面及復(fù)雜化學(xué)組成的難題。

2. 力學(xué)鉑金板表面張力測(cè)試：

   • 通過(guò)高精度力學(xué)鉑金板法檢測(cè)硅片、光刻膠表面的有機(jī)污染物殘留，解決制造過(guò)程中污染物快速篩查的行業(yè)痛點(diǎn)。

核心技術(shù)與配置

1. 高精度控制系統(tǒng)

• 交叉線(xiàn)性導(dǎo)軌技術(shù)：

  • 手動(dòng)控制精度0.01mm，軟件控制精度0.5μm，確保晶圓、半導(dǎo)體等精密樣品的穩(wěn)定測(cè)量。

• 9維機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：

  • 2XYZ+3水平調(diào)整系統(tǒng)，協(xié)調(diào)樣品臺(tái)、相機(jī)、進(jìn)樣系統(tǒng)運(yùn)作，適配大尺寸顯示屏（如IPAD、觸摸屏）測(cè)試。

• 納升級(jí)注射泵系統(tǒng)：

  • 液滴控制精度達(dá)0.02μL（可擴(kuò)展至nL級(jí)），滿(mǎn)足光刻膠微量涂布測(cè)試需求。

2. 專(zhuān)業(yè)化光學(xué)成像系統(tǒng)

• 高景深工業(yè)鏡頭（0.35-4.5X放大倍率）：

  • 清晰捕捉液晶、硅片表面的微觀(guān)液滴形態(tài)，支持曲面校正技術(shù)分析凹凸面接觸角。

• 高速攝像系統(tǒng)：

  • 德國(guó)原裝87幀/秒相機(jī)（可升級(jí)至1000幀/秒），動(dòng)態(tài)記錄光刻膠潤(rùn)濕過(guò)程。

• 可調(diào)LED冷光源：

  • 避免液滴揮發(fā)干擾，確保光敏材料（如光刻膠）測(cè)試穩(wěn)定性。

3. 智能化分析軟件（CAST™2.0）

• 動(dòng)態(tài)接觸角分析：

  • 支持前進(jìn)/后退角、滾動(dòng)角及時(shí)間依賴(lài)性接觸角測(cè)量，適配半導(dǎo)體表面污染物動(dòng)態(tài)吸附研究。

• 表面自由能模型：

  • 12種算法（如Acid-base法）分析色散力、極性力，評(píng)估材料表面清潔度與涂層兼容性。

• 液-液界面張力測(cè)試：

  • 基于Young-Laplace方程擬合，支持光刻膠與顯影液的界面行為分析。

4. 擴(kuò)展功能與兼容性

• 模塊化進(jìn)樣系統(tǒng)：

  • 兼容PTFE針管、細(xì)針管，適配高粘度光刻膠及疏水材料測(cè)試。

• 標(biāo)準(zhǔn)化視頻模式：

  • 支持多品牌主機(jī)升級(jí)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為Excel/BMP格式，滿(mǎn)足科研論文與工業(yè)報(bào)告需求。

• 抗靜電設(shè)計(jì)：

  • 離子風(fēng)技術(shù)消除晶圓、半導(dǎo)體測(cè)試中的靜電干擾，提升測(cè)值準(zhǔn)確性。

應(yīng)用場(chǎng)景

• 液晶顯示行業(yè)：屏幕表面清潔度與涂層潤(rùn)濕性檢測(cè)。

• 半導(dǎo)體制造：晶圓/硅片污染物篩查、光刻膠涂布均勻性評(píng)估。

• 觸摸屏質(zhì)檢：表面附著力與清潔度分析。

• 光刻膠研發(fā)：優(yōu)化配方潤(rùn)濕性能，提升工藝良率。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

• 精準(zhǔn)適配高精密材料：專(zhuān)為微電子行業(yè)設(shè)計(jì)，解決表面結(jié)構(gòu)復(fù)雜、污染物難檢測(cè)的痛點(diǎn)。

• 全流程自動(dòng)化：一鍵完成圖像捕獲、計(jì)算與數(shù)據(jù)保存，減少人為誤差。

• 抗干擾設(shè)計(jì)：多層水平調(diào)整系統(tǒng)結(jié)合防靜電技術(shù)，確保環(huán)境下的測(cè)試穩(wěn)定性。

附件:

1、溫度控制裝置：

包括（1）樣品溫度控制（2）測(cè)試液體溫度控制；

這是兩個(gè)溫度控制系統(tǒng)，分別控制液體以及固體樣品的溫度。可單獨(dú)采購(gòu)，也可以同時(shí)采購(gòu)。

→固體樣品溫度控制方式可選以下兩種溫度控制方式之一：

（1）恒溫水槽控制：0-95℃，溫度誤差在0.1℃；

（2）半導(dǎo)體加熱制冷：5-85℃,溫度誤差在0.5℃；

（3）特殊溫度加熱系統(tǒng)：如200℃、400℃溫度控制要求可與我們確認(rèn)。

→液體溫度控制方式建議采用恒溫水槽的方式。

2、高溫接觸角測(cè)試：最高實(shí)現(xiàn)1400、1700、1800、2000度接觸角測(cè)試；定制產(chǎn)品，需支付定金。

3、真空環(huán)境裝置：實(shí)現(xiàn)真空或不同氣體環(huán)境下接觸角測(cè)試；定制產(chǎn)品，需支付定金。

4、樣品槽：有效控制樣品的晃動(dòng)以及溫度、光線(xiàn)等影響；定制產(chǎn)品，需支付定金。

5、高溫界面張力測(cè)試：熔化的固體材料與空氣的界面張力測(cè)試，采用懸滴法或停滴法界面張力分析技術(shù)。定制產(chǎn)品，需支付定金。

6、全系列針管與針頭

包括： 25uL、100uL、500uL、1000uL高精度微量進(jìn)樣器、以及聚四氟乙烯針頭、不銹鋼針頭（各種直徑）、塑料針頭、彎曲針頭等

7、高精度雙通道軟件控制自動(dòng)注射泵

8、專(zhuān)用夾具：用于夾持纖維、薄膜、紙張等

9、氣泡捕獲法用石英玻璃樣品槽

10、振蕩滴(oscillating drop)測(cè)試模塊

（1）采用高頻振蕩器以及閉環(huán)式振蕩控制系統(tǒng)，控制精度更高、控制方式更為靈活，可根據(jù)客戶(hù)需求選購(gòu)不同振蕩頻率和振蕩幅度的振蕩器。

（2）進(jìn)樣針管可選：0.5uL、1uL、5uL、15uL、100uL、500uL、1000uL等。

（3）振蕩波形包括：正弧波、余弧波、三角波、線(xiàn)性波、鋸齒波等，頻率在2KHz以?xún)?nèi)不衰減、不失真。

CAST2.0影像分析系統(tǒng)測(cè)試實(shí)圖示例

1、前進(jìn)后退角分析實(shí)圖：

圖1 分析方法：曲線(xiàn)尺擬合法（圓擬合、spline擬合、廣義二次曲線(xiàn)擬合等）。

前進(jìn)角/后退角測(cè)試建議采購(gòu)注射泵或蠕動(dòng)泵。前進(jìn)角/后退角形成的技術(shù)有兩種方式：（1）增加/減少液滴量，形成前進(jìn)/后退角；（2）樣品臺(tái)傾斜，形成前進(jìn)后退角。如上圖所示

2 、非規(guī)則接觸角分析實(shí)圖：

圖中拍攝的是硅膠的實(shí)際效果圖，采用曲線(xiàn)尺擬合技術(shù)計(jì)算接觸角值。擬合因子90%以上。

圖2 分析方法：Spline曲線(xiàn)擬合法或Young-Laplace方程擬合法

特別聲明：

1、以上圖片資料以及技術(shù)參數(shù)因設(shè)計(jì)而進(jìn)行的更改，不再另行通知，以最新確認(rèn)的產(chǎn)品資料為準(zhǔn)。

2、本公司保留一切權(quán)利。 

3、阿莎®、RealDrop®、TrueDrop®、MicroDrop®、WBA®、ADSA®是上海梭倫的注冊(cè)商標(biāo)。

CAST^®、阿莎^®、ADSA^®、TrueDrop^®、RealDrop^®、TheDrop^®、MicroDrop^®、LMCA^®、Shsolon^®、梭倫^®為上海梭倫注冊(cè)商標(biāo)。

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